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石井 克典; 富田*; 高橋*
Proceedings of 12th International Conference on Laser Interaction and Related Plasma Phenome, 0 Pages, 1995/00
縦方向励起型大気圧炭酸ガスレーザー(TEA CO2レーザー)を用いて、立方晶(CBN)及び六方晶(hBN)のホウ素窒化物のアブレーションについて調べた。TEA CO2レーザーの9.2
m発振波長はCBNのTOフォノンスペクトルと一致しており、10mバンドよりも有効なアブレーションができた。しかし、アブレートされた領域は、ホウ素が過剰になるため、黒色に変色した。Al2O3とSiO2を焼結させたhBNでは、Al2O3によってアブレーションしきい値が決定された。Al2O3は焼結体を構成する三成分中で、最も高いアブレーションしきい値を有している。